Swagelok hat das ultrahochreine (UHP) Membranventil Swagelok® ALD7 gelauncht, „ein Produkt, das die Konsistenz und lange Lebensdauer bietet, die für Halbleiterhersteller zur Verbesserung der Chipausbeute erforderlich sind“, erklärt das Unternehmen in einer Mitteilung. Im Vergleich zu Swageloks aktuellem Ventil ALD6 ermögliche das ALD7 eine bessere Durchflusskonsistenz, Durchflusskapazität und Betätigungsgeschwindigkeit. „Es bietet auch die Leistung bei hohen Temperaturen, die notwendig ist, damit Chiphersteller die Beschränkungen der aktuellen Produktionsprozesse überwinden und mit der Nachfrage Schritt halten können.“
ALD7-Ventile können sowohl in neue Werkzeuge als auch in bestehende Anlagen integriert werden und bieten laut Swagelok „eine verbesserte Durchflusskapazität (bis zu 0,7 Cv) auf der gleichen Grundfläche wie bestehende Ventile (38,1 mm, 1,5 Zoll)“. ALD7-Ventile ermöglichen „eine präzise Dosierung über zig Millionen ALD-Produktionszyklen (Atomic Layer Deposition), da sie schneller und gleichmäßiger arbeiten als ihr Vorgänger ALD6“. Die Reaktionszeit des Aktuators beim Öffnen und Schließen könne weniger als 5 ms betragen. Der Aktuator kann bis zu 150°C (302°F) eingetaucht werden, und der Ventilkörper ist für 200°C (392°F) ausgelegt, „so dass das Ventil besser für Niederdruck-Precursors geeignet ist, die eine hohe Temperaturzufuhr erfordern“, erläutert Swagelok. Dies gebe den Herstellern die nötige Kontrolle, um den Durchsatz und die Ausbeute zu maximieren.