Neues Druckmessgerät von GEMÜ für die Halbleiterindustrie

Mit dem neuen Druckmessgerät GEMÜ C33 HydraLine präsentiert GEMÜ eine Lösung für die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterfertigung. Als Nachfolger des GEMÜ C32 Hydra-Dry bietet das neue Druckmessgerät laut GEMÜ „eine optimierte Kombination aus Präzision, Zuverlässigkeit und Flexibilität“. Dank seiner keramischen Messzelle und einem innovativen Dichtkonzept setze der GEMÜ C33 HydraLine „neue Maßstäbe in der Prozessüberwachung“.

Mit diesem neuartigen Druckmessgerät bietet GEMÜ eine Lösung für die Überwachung von Filtern, die präzise Rückdruckregelung und die exakte Messung von Flüssigkeitsständen. Darüber hinaus ermöglicht der GEMÜ C33 HydraLine in zahlreichen Prozessanwendungen „eine hochgenaue Drucküberwachung“, so das Unternehmen weiter.

Das Herzstück des GEMÜ C33 HydraLine ist sein neues Dichtkonzept. Verwendet wird dabei eine keramische Messzelle, bei der die Medientrennung ohne Druckmittlerflüssigkeit als Übertragungsmedium erfolgt, was als „trockenes System“ bezeichnet wird. Dadurch wird im Falle einer Leckage die Verunreinigung des Prozessmediums ausgeschlossen.

Die keramische Messzelle besitzt, so GEMÜ, eine hohe Beständigkeit gegen Chemikalien und „gewährleistet präzise Messergebnisse selbst unter extremen Bedingungen“. Ein zentrales Merkmal des neuen Dichtkonzeptes ist die vollständige Umhüllung der Messzelle und Elektronik durch eine PTFE-Sensorhülle: Diese Konstruktion kommt ohne medienberührende O-Ringe aus „und verringert die Anzahl der Trennstellen erheblich. Darüber hinaus verzögert die Stärke der Membran die Diffusion signifikant“, so GEMÜ.

Das neue Druckmessgerät GEMÜ C33 HydraLine besitzt eine kompakte Bauweise und lässt sich in bestehende Systeme und Anlagen integrieren. Die modular aufgebaute Konstruktion ermöglicht den platzsparenden Einsatz auf Ventilblöcken.

 

 

 

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