Die Halbleiterindustrie stellt hohe Anforderungen an die Ventil-, Mess- und Regeltechnik. Zunehmend reichen pneumatisch betätigte Ventile nicht mehr aus, um die Regelanforderungen führender Hersteller von Prozessequipment zu erfüllen. Aus diesem Grund hat der Ventilspezialist GEMÜ das elektromotorisch betätigte Regelventil GEMÜ C53 iComLine entwickelt.
Das 2/2-Wege Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine wurde für präzise und anspruchsvolle Regelanwendungen in der Halbleiterfertigung entwickelt. Das Dichtprinzip des Ventils beruht auf der GEMÜ PD-Technologie, bei der Antrieb und Medium durch einen konusförmigen Regelkegel aus beständigem PTFE getrennt werden. „Da Regelkegelkontur, Antriebshub und Anschlussgrößen kundenspezifisch angepasst werden können, erfüllt GEMÜ C53 iComLine nahezu alle Regel- und Durchflussanforderungen der hochtechnologischen Halbleiterindustrie“, betont das Unternehmen. Durch die Kombination des präzisen Schrittmotors mit hochreinen Körperwerkstoffen eignet sich das Ventil insbesondere für Lithographie-, CMP-, und Ätzprozesse sowie für Anwendungen im Analytik-Bereich in jeder Halbleiterfertigung.
Das Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine kann dabei nicht nur als einfaches Durchgangsventil verbaut werden. Eine Integration in einen M-Block GEMÜ PC50 iComLine ist ebenfalls möglich, um komplexe Fließschemen auf minimalem Raum zu realisieren. Bei der Bearbeitung von Silizium-Wafern kann ein Mehrwegeventilblock beispielsweise in FOUP-Cleaner zur Temperaturregelung des DI-Wassers eingesetzt werden. Dazu können in den M-Block GEMÜ PC50 iComLine Rückschlagventile und Sensoren integriert werden.
Elektromotorisch betätigtes Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine für hochreine Prozesse Foto: GEMÜ